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自研EUV光刻机是否有戏,北大教授给出结果,ASML也有新态

11月11日 金钟寨投稿
  光刻机是被称为工业皇冠上的明珠,更是全球最高科学技术的代表,在全球范围内,仅有四家企业能够独立研发制造光刻机。
  其中,两家在日本,分别是尼康和佳能;一家在国内,是上海微电子;另外一家是荷兰的ASML,但在这四家企业中,仅有ASML的光刻机占领了中高端市场。
  数据显示,ASML的DUV光刻机和EUV光刻机占领了中高端市场,前者用于生产制造7nm以上的芯片,后者则用于生产7nm以下的芯片。
  但因为美国修改规则,导致台积电等芯片企业不能自由出货,国内厂商要想研发生产制造先进制程的芯片,必须要用到EUV光刻机。
  但由于EUV光刻机目前仅有ASML能够研发制造,国内厂商在3年前就全款订购了一台EUV光刻机,由于美国的缘故,至今ASML都无法交付安装。
  在这样的情况下,华为宣布全面进入芯片半导体领域内,中科院等将光刻机作为优先攻克的技术难题,甚至国内大学还成立了集成电路学院,全面突破半导体技术等。
  自研EUV光刻机是否有戏,北大教授给出结果
  在ASML无法自由出货的情况下,国内厂商要想掌握7nm、5nm等先进制程芯片的生产技术,就必须要自主研发EUV光刻机。
  据了解,上海微电子的全新一代国产光刻机即将下线量产,其采用的是193nm的波长光源技术,与ASML的DUV光刻机一样,都能够生产制造7nm以上制程的芯片。
  但在国产EUV光刻机方面,至今还没有消息。
  于是,很多人都想知道,国内自研EUV光刻机是否有戏,毕竟EUV光刻机关乎着国产先进制程的芯片,如果没有,国产先进制程的芯片就无法实现了。
  对于国内自研EUV光刻机是否有戏这一问题,北大教授林毅夫近日给出了结果。
  据悉,根据北大教授林毅夫的表态可知,自研EUV光刻机是有戏的。因为光刻机最主要的技术就是光源技术,而清华大学已经在光源技术方面有所突破。
  根据清华大学发布的消息可知,其介绍的一种新型粒子加速光源稳态微聚束的首个原理实验,而该光源技术是可以用于光刻机设备上的。
  虽然EUV光刻机不仅需要先进的光源技术,还需要真空、镜片等高端技术,而这些技术也分别掌握在英国、德国手中,但这并不意味着国内厂商自主研发不了。
  更何况,先进的设备都是集合了全球的先进技术,虽然ASML无法自由出货EUV光刻机,但这不代表德国、英国等企业不会不出售相关技术。
  再加上,即便是德国、英国等不出售这些技术,像真空技术、镜片技术等还有同类竞争企业,国内厂商也可以购买这些企业的相关技术。
  就像国产C919大飞机一样,核心技术掌握在自己手中,与全球供应链联合起来造飞机。
  最主要的是,在光刻机方面,原本是日本最先进,后来才被ASML所超越,而国内厂商早已经与日本相关企业合作研发先进光刻机,目的是赶超ASML。
  也正是因为如此,北大教授才说自研EUV光刻机是有戏的,但需要一段时间,还需要国外供应链的协同。
  其实,在北大教授林毅夫表态之前,ASML对国产先进光刻机也有了新态度。
  日前,ASML总裁正式对外表示,如果ASML不能向国内厂商出售先进的光刻机设备,中国厂商将会在未来3年内自主研发出来先进的光刻机设备。
  另外,根据中国厂商的一贯作风可知,中国厂商研发出来的先进光刻机必然是物美价廉,届时,ASML的光刻机在国内市场可能就没有销量了。
  毕竟上海微电子已经占领了国内八成以上的光刻机市场。
  对于ASML总裁的新表态,可能有些夸大,但国内自主研发EUV光刻机是势在必行,未来自然也会成功,也可能是两三年,也可能会晚一些。
  对于国产自研EUV光刻机,你们怎么看,欢迎留言、点赞、分享。
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