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ASML就EUV光刻机再次表态,局势明朗了

10月14日 月依兮投稿
  虽然我国是全球最大的半导体芯片消费市场,然而芯片综合自给率却不足20,以至于不得不依赖进口。据统计数据显示,近两年国内芯片市场的年均进口额突破了3000亿美元大关,所占比重远超石油。
  然而,在目睹华为等高科技中企在5G通信、电子设备供应等关键领域的快速崛起后,市场地位受到冲击的老美再也坐不住了,从2019年开始,便利用芯片技术优势对华为等企业接连发起了四轮打压,一轮比一轮狠毒,尤其是芯片禁令,根本不是想打疼华为,而是想把华为打死。
  芯片被称为工业粮食,在电子产品日益普及的今天,如果没有芯片得以为继,那科技的发展就相当于是无木之本。正是意识到了芯片断供问题的严重性,国内市场终于下定了芯片要自主造芯,并为此制定了于2025年实现70自主率的目标。不卖给中国?
  一代芯片、一代设备是半导体业内的共识,对国内芯片市场而言,现阶段最大的问题是制造设备的缺少,尤其是被誉为是工业皇冠上明珠的光刻机。全球只有四家企业能生产该设备,国产巨头上海微电子就是其中一家,但是在中高端领域,比如EUV光刻机,荷兰光刻巨头ASML却处于垄断地位。
  颇为无奈的是,对于EUV设备,ASML现阶段无法对华出口。比如中芯国际,早在2018年就曾向ASML交付了一台EUV设备的定金,在发货阶段却突然被老美叫停,以至于该设备至今还停留在荷兰本土。
  造成这种局面的原因有两方面,第一,ASML公司的光刻生产线上含有美技术配件,按照美商务部制定的出口管理条例,想要对华出口需要得到相关许可证。第二,早在数十年前,老美就与其他41个国家联合签署了《瓦森纳协定》,该协定的主要内容就是禁止某些高精尖设备技术向中国出口。而EUV设备如今也被加入了清单。
  不过令人颇感欣慰的是,ASML不仅多次传达出与国内市场密切合作的意向,而且还对美发出警告,在陈述芯片断供只会适得其反的同时,多次表态不会放弃中国市场。
  更重要的是,ASML方面在研发出新一代高精尖光刻设备之后,做出了扩大EUV设备的产能的决定,预计在未来三年内制造140台。
  对此,业内人士猜测,ASML此举是为了实现对华出口EUV光刻机。原因很简单,参考现阶段可自由出货的DUV光刻机,按照出口管制规则,只要不是最尖端的技术设备,而且不是在美国生产的,就可以不受限制。ASML就EUV光刻机再次表态
  然而,在11月5日的上海进博会上,在被问及是否考虑对华出口EUV光刻机之时,ASML中国区总裁沈波却表示,除了EUV光刻机之外,公司其他产品都可以向中国客户正常发货。
  言外之意就是,ASML与国内市场之间的合作,是建立在不违背管制规则或者得到老美批准的情况下。这意味着在自主造芯这条路上,我们没有其他选择,必须突破EUV设备的垄断。
  尽管EUV设备极为精密复杂,但正如王传福所说,再尖端的技术设备也是人造的,而非人造的,而且令人振奋的是,在中科院、清北高校等科研机构的努力下,已经相继突破了光源、光学镜头、双工件台系统等多项核心技术。
  对此,ASML首席官也表示,中国或将在十五年之内实现EUV设备的国产化。然而,对于是否要全力研发EUV光刻机,不少专家却有不同的看法。吴汉明院士:不需要
  在第五届数科大会上,吴汉明院士就表示,价值1。2亿美元的EUV设备是全球智慧的结晶,所含精密零件超过了10万个,凭我们一己之力很难完成。
  另外,吴汉明院士还表示,相比耗时耗力、且事倍功半的研发EUV,我们更应该专注于成熟工艺芯片的制造,争取早日在中低端芯片市场站稳脚跟。目前除了智能手机需要5nm芯片之外,28nm、14nm工艺足以80以上的市场需求,因此,现阶段我们最需要做的是将现有技术完善化,而不是EUV设备。
  事实也的确如此,在成熟工艺芯片领域,我们目前仍有许多短板,比如华为面临的射频芯片问题,以及被美企所垄断的存储芯片业务,还有市场上最急缺的汽车芯片等等,在这些短板没有得到解决之前,盲目的冲击高端市场,无异于在建造没有根基的高楼。
  正如龙芯工程师胡伟武所说,不要看到美国制造5nm芯片,我们就也学着造5nm芯片,要根据实际市场需求情况而定,如果我们能把28nm芯片吃透,就足以替换很多常见的美系产品了。这也就是很容易理解,为何中芯国际从去年至今三度扩产28nm成熟工艺芯片的产能了。总结
  综合来看,专家们不倡导我们极力钻研EUV光刻机是绝对有道理的,并非所谓的畏难精神。如上所述,一代芯片、一代设备是不变的定律,芯片领域是个庞大的产业,单纯一台EUV设备并不足以实现国产芯片的崛起。
  工业体系市场的优化,以及人才的培养和积累,才是走向强大的基础,这并不是一朝一夕能完成的,不过一切已在路上,中国科技未来值得期待!
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