据《日经新闻》早前的报道，台积电之所以能在先进工艺方面击败三星，主要是因为他们抢在三星之前抢占了ASML70的设备。由于ASML是世界上唯一能够提供这种工业规模的EUV设备的公司，因此相对台积电，三星失去了很多基础优势，台积电无疑将利用这一优势进一步扩大其与竞争对手之间的技术差距。这也是为何三星领导人之前频频造访荷兰光刻机巨头的原因。
　　而从日经的报道可以看到，ASML迄今为止大约出货了100台EUV光刻机。
　　ASML将赴韩国建厂，三星迎来新契机？
　　据报导，南韩产业通商资源部（MOTIE）宣布，荷兰半导体设备巨头ASML计划在未来4年内，于南韩投资2，400亿韩元（约2。1亿美元），建造极紫外光（EUV）再制厂和培训中心园区。
　　报导指出，ASML计划在未来4年之内，在南韩京畿道华城市建造一个EUV设备园区，其中包括一个再制工厂和一个培训中心。新的厂区预期将在2025年完工，并计划在南韩当地聘雇300名专业人员。
　　ASML是全球唯一的极紫外光（EUV）设备生产商，主要被用于半导体生产，该公司的光刻设备每台价格超过1亿美元，被三星、英特尔、台积电等半导体制造商用来协助制造芯片，是生产制造必不可少的设备，但年产量却在30至40台之间。
　　报导指出，ASML位在南韩的再制厂，将用来升级已经在南韩国当地运作的EUV设备。预计用于培训设备操作工程师的训练中心，也将为南韩国内半导体公司带来福音。此外，ASML与南韩客户之间的业务关系也有望得到加强。
　　ASML在第一季出货9台极紫外光（EUV）机台，但仅先确认7台的营收，总计11亿欧元。公司预计，今年EUV机器的总销量将比2020年成长30。
　　针对这个决定，其实外面有很多讨论，但ASML方面向《中国电子报》记者表示，韩国客户存在相应需求，因此ASML选择就近建厂为其提供服务。ASML方面表示，对于这一点，外界其实无需过度解读。

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